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湖南大学机械与运载工程学院离子束溅射沉积设备单一来源采购公告(DCGG2018-17号)

    机械与运载工程学院的离子束溅射沉积设备拟进行单一来源采购,现将有关事项公告如下:

一、采购项目名称

    离子束溅射沉积设备

二、拟采购货物的说明及预算

(一)拟采购货物的说明

功能:采用离子束溅射沉积设备可以制备高致密性、高均匀性、高附着力的优质薄膜,还可通过此设备研发新型功能材料薄膜,能够实现超低温镀膜功能,可满足光学超材料、微纳力学结构、MEMS器件、生物医学的新材料薄膜研究。

技术参数:

  1. 极限真空度:≤8.5×10-5Pa(无冷阱、不烘烤),系统真空检漏漏率:≤6.67×10-8Pa·L/s;

  2. 系统从大气(暴露大气时充干燥氮气)开始抽气,40分钟内可达到真空度5×10-4 Pa;

  3. 一次工艺实验样片装载量:直径4英寸样品装片1片;

  4. 沉积均匀性:采用4寸样品,沉积100nm,片内测试5个点,要求片内均匀性≤±3%,批次间均匀性≤±3%;

  5. 样品台台面直径:≥110mm,可安装直径为4英寸样品一片,并向下兼容;

  6. 台面温度:样品台可选常规模式或超低温冷却模式,常规模式下冷却温度5~25℃,超低温冷却模式下最低温度-120℃;

  7. 标准溅射角度:θe=0°~90°可调;

  8. 离子能量和束流时间稳定度RMS值小于±1%;

  9. 真空室内置水冷结构,长时间工作的温度≤20℃;

  10. 配置水冷离子源室,冷却温度为15℃;

  11. 配置两套考夫曼离子源,聚焦束溅射离子源(主源)口径为Φ100mm,准直束离子源(辅源)口径Φ70mm;

(二)预算

预算金额:¥390000

三、采用单一来源采购方式的原因及相关说明

为了满足部分样品超低温镀膜的工艺需求,此次所购买的离子束溅射沉积设备必须满足可在最低温-120℃的环境配置,且离子能量和束流时间稳定度RMS值须小于±1%,且镀膜均匀性须≤±3%,经前期调研,仅极智芯(北京)科技有限公司提供的离子束溅射沉积设备能够同时满足上述技术参数指标的设备,符合《中华人民共和国政府采购法》第三章第三十一条第一款之规定(只能从唯一供应商处采购的),故申请采用单一来源方式采购。

四、拟定的唯一供应商名称、地址及联系方式、邮箱等

供应商名称:极智芯(北京)科技有限公司

供应商地址:北京市丰台区小屯路150号

联系人:赵一

联系方式:13552531966

邮箱:13552531966@163.com

五、公告期限:自2018年11月15日至2018年11月21日止,共计5个工作日。任何供应商、单位或个人对采用单一来源方式公告有异议的,可以向采购管理部门以书面形式实名反映。

六、用户和采购管理部门名称、联系人和联系方式

1、用户:湖南大学机械与运载工程学院

联系人:段辉高,联系电话:15211044249

2.采购管理部门名称:湖南大学实验室建设与设备管理处采购办

地址:湖南省长沙市岳麓山

联系人:彭择令、郑银华,联系电话:0731-88822947

2018年11月14日

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